问答题

简答题 简述点蒸发和小平面蒸发源特性,如何改善蒸镀存在的膜厚均匀性问题。

【参考答案】

(1)点蒸发源:能够从各个方向蒸发等量材料小平面蒸发源:发射具有方向性,使在θ角方向蒸发的材料质量和cos&......

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