离子溅射泵的特点是什么（）？

属于高真空泵的是哪一种（）？A.分子泵B.扩散泵C.油回转泵D.低温泵

多项选择题属于高真空泵的是哪一种（）？

油扩散泵的缺点是什么（）？A.噪音大B.需要水冷挡板C.启动停止需要时间D.存在油污染

多项选择题油扩散泵的缺点是什么（）？

检漏仪灵敏度下降的原因有（）。A.离子源老化B.分析部污染C.内漏D.设定参数不对

多项选择题检漏仪灵敏度下降的原因有（）。