光切法使用的仪器是干涉显微镜。

表面粗糙度常用的测量方法有目测检测、比较检测和测量仪器检测等。

判断题表面粗糙度常用的测量方法有目测检测、比较检测和测量仪器检测等。

当被测表面非常光滑时，也就是说是超精密表面，也可以用目测检测。

判断题当被测表面非常光滑时，也就是说是超精密表面，也可以用目测检测。

抛光的操作方法与研磨加工的操作方法基本相同，只不过抛光加工速度要比研磨加工的速度高。

判断题抛光的操作方法与研磨加工的操作方法基本相同，只不过抛光加工速度要比研磨加工的速度高。