案例分析题有一电容测微仪，其传感器的圆形板极半径r=5mm，开始初始间隙δ=0.3mm，问： 若测量电路灵敏度S1=100mv/PF，读数仪表的灵敏度S2=5格/mv，上述情况下，仪表的指示值变化多少格？

工作时，如果传感器与工件的间隙缩小1μm，电容变化量是多少？

问答题工作时，如果传感器与工件的间隙缩小1μm，电容变化量是多少？

采用差动方式其灵敏度ΔL/Δδ=？

问答题采用差动方式其灵敏度ΔL/Δδ=？

求其灵敏度ΔL/Δδ=？

问答题求其灵敏度ΔL/Δδ=？