电容式传感器将被测量转化为电容量变化，根据工作原理可以分为（）、（）、（）三种。

长光栅又称为光栅尺，用于（）或（）的测量。

填空题长光栅又称为光栅尺，用于（）或（）的测量。

传感器的标定分为（）和（）两种。

填空题传感器的标定分为（）和（）两种。

传感器的（）反映了输入信号处于稳定状态时的输入-输出关系，主要有线性度、灵敏度、迟滞、重复性和稳定性等。

填空题传感器的（）反映了输入信号处于稳定状态时的输入-输出关系，主要有线性度、灵敏度、迟滞、重复性和稳定性等。