名词解释
氧化增强扩散（OED）机理—存在替位-间隙交替的双扩散； 氧化抑制扩散（ORD）机理—以替位扩散为主。
薄层电阻
名词解释薄层电阻
试说明横向扩散以及横向扩散的主要影响。
问答题试说明横向扩散以及横向扩散的主要影响。
什么是扩散的相互作用？试举一例说明其对半导体器件的制造有何影响及其产生的原因。
问答题什么是扩散的相互作用？试举一例说明其对半导体器件的制造有何影响及其产生的原因。
