问答题
目的：将光刻胶从液态转变为固态，增强光刻胶在晶体表面的附着力。使光刻胶含有5%-20%的残余溶剂。
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简述光刻工艺的8道工序
问答题简述光刻工艺的8道工序
列出4种曝光技术，并说明那种分辨率最高，说明各种曝光技术的优缺点。
问答题列出4种曝光技术，并说明那种分辨率最高，说明各种曝光技术的优缺点。
简述显影工艺的3个过程
问答题简述显影工艺的3个过程
