（）的气体源中一般包含H⁺，C⁺，B⁺，Cl⁺，O⁺等离子。

离子源产生的离子在（）的加速电场作用下得到加速。A.分析器B.扫描器C.加速器D.偏转器

单项选择题离子源产生的离子在（）的加速电场作用下得到加速。

Torr是指（）的单位。A.真空度B.磁场强度C.体积D.温度

单项选择题Torr是指（）的单位。

激光退火目前有（）激光退火两种。A.一般和特殊B.脉冲和连续C.高温和低温D.快速和慢速

单项选择题激光退火目前有（）激光退火两种。