名词解释
如果扩散杂质与硅衬底原有杂质的导电类型不同，在两种杂质浓度的相等处会形成PN结，此深度为结深。
SiO2-Si界面中存在几种电荷？对器件性能有哪些影响？工艺上如何降低它们的密度？
问答题SiO2-Si界面中存在几种电荷？对器件性能有哪些影响？工艺上如何降低它们的密度？
为什么晶体晶格离子注入工艺后需要高温退火？使用RTA退火有什么优点？
问答题为什么晶体晶格离子注入工艺后需要高温退火？使用RTA退火有什么优点？
离子注入后的RTA流程
问答题离子注入后的RTA流程
