问答题
1、与n＋、p＋硅或多晶硅形成低阻的欧姆接触（接触电阻小），利于提高电路速度，2、抗电迁移性能好，长时间在较......
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何谓氧化增强扩散，发散区推进效应？产生机理是什么？
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什么是光敏度，移相掩膜，驻波效应？
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常见的光刻对准曝光设备有？
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