问答题
(1)不同成份气相前置反应物由主流气体进来,以扩散机制传输基板表面。理想状况下,前置物在基板上的浓度是零,亦即在基板上立......
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TiN氮化钛镀膜具有哪些特点?
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真空蒸镀可应用在哪些产业?
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蒸镀的加热方式包括几种?各具有何特点?
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