单项选择题

对于目标厚度为:280μm的晶圆,若选用BT-150E-KL和P-7181时最终厚度(FINALTHICKNESS)设置分别为()。

A.430μm、430μm
B.430μm、460μm
C.460μm、430μm
D.440μm、460μm