由于极值点的判读精度不高，因此常常采用（）、（）、（）等措施来提高极值法监控精度。

镀膜室内真空度高表明气体压强（），真空度低则气体压强（）。

填空题镀膜室内真空度高表明气体压强（），真空度低则气体压强（）。

Torr和Pa是两个常用来表示真空度的单位，它们较为准确的换算关系为：（）。

填空题Torr和Pa是两个常用来表示真空度的单位，它们较为准确的换算关系为：（）。

按照材料状态不同，一般将薄膜分为（）薄膜、（）薄膜和（）薄膜三类。

填空题按照材料状态不同，一般将薄膜分为（）薄膜、（）薄膜和（）薄膜三类。