名词解释
指每单位体积内可以接受的0.3um颗粒的颗粒数不超过30个
1级净化间
名词解释1级净化间
解释什么是静电释放，并给出在硅片制造中由ESD引起的三种问题及ESD的三中控制方法。
问答题解释什么是静电释放，并给出在硅片制造中由ESD引起的三种问题及ESD的三中控制方法。
说明五类净化间的沾污。
问答题说明五类净化间的沾污。
