问答题
采用干法刻蚀，是为了保证深宽比。
描述金属复合层中用到的材料？
问答题描述金属复合层中用到的材料？
为什么晶体管栅结构的形成是非常关键的工艺？更小的栅长会引发什么问题？
问答题为什么晶体管栅结构的形成是非常关键的工艺？更小的栅长会引发什么问题？
为什么要采用LDD工艺？它是如何减小沟道漏电流的？
问答题为什么要采用LDD工艺？它是如何减小沟道漏电流的？
