多项选择题

MA2008-BBS全自动绷膜贴片机贴片工作台维护保养检查方法为()。

A.观察Table面是否有划伤破损
B.观察Table面是否平整完好
C.放置试机陪片,打开真空,检查晶圆吸附后显示真空大小。
D.放置框架,打开真空,检查贴片框架吸附真空大小。