问答题
① SiON层沉积（用来避免上层B，P渗入器件）；② BPSG（掺有硼、磷的硅玻璃）层沉......
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何谓ILD？ IMD？ 其目的为何？
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什么是 device breakdown voltage？
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什么是Ioff? Ioff小有什么好处？
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