干法刻蚀的均匀性比湿法刻蚀好。

扩散是掺杂的一种方法。

判断题扩散是掺杂的一种方法。

扩散运动的方向是从浓度高的地方向浓度低的地方扩散。

判断题扩散运动的方向是从浓度高的地方向浓度低的地方扩散。

关于两步扩散法，第一步主要控制扩散的结深。

判断题关于两步扩散法，第一步主要控制扩散的结深。