热氧化方法中水汽氧化比干氧氧化速度快。

曝光前先要进行图形对准。

判断题曝光前先要进行图形对准。

电子束光刻不是先进的光刻技术。

判断题电子束光刻不是先进的光刻技术。

曝到光的光刻胶能被显影液溶解掉，这是正胶。

判断题曝到光的光刻胶能被显影液溶解掉，这是正胶。