多项选择题

在深紫外曝光中,需要使用CA光刻胶,它的优点在于()。

A.CA光刻胶对深紫外光吸收小
B.CA光刻胶将吸收的光子能量发生化学转化
C.CA光刻胶在显影液中的可溶性强
D.有较高的光敏度
E.有较高的对比度