当入射离子能量小于一定值时，不会发生溅射现象。

分子泵、扩散泵都不是通过容积变化来达到抽气目的。

判断题分子泵、扩散泵都不是通过容积变化来达到抽气目的。

蒸发镀膜时，必须将镀料加热至熔点温度以上。

判断题蒸发镀膜时，必须将镀料加热至熔点温度以上。

溅射机理有（）。A.直流溅射B.反应溅射C.热蒸发理论D.级联碰撞理论

多项选择题溅射机理有（）。