Si衬底上热氧化的机理由（）模型确定。氧化反应的快慢与三个因素有关，即：（）。氧化层厚度的理论计算公式为：式中A、B为与扩散率成正比的常数，τ为由（）决定的时间修正系数。

由于O2在SiO2中的扩散率远（）于Si 在SiO2中的扩散率，所以氧化反应是由O2穿过SiO2层，在（）界面...

填空题由于O₂在SiO₂中的扩散率远（）于Si 在SiO₂中的扩散率，所以氧化反应是由O₂穿过SiO₂层，在（）界面与Si原子反应。相同温度下，湿氧氧化速率（）于干氧氧化速率，是因为在SiO₂中，H₂O比O₂有更（）的扩散率和溶解度。由于N₂和Si在Si₃N₄中的扩散率都很（），所以很难在Si衬底上热生长Si₃N₄。通常在Si衬底上用（）法沉积Si₃N₄薄膜。

扩散系统主要有以下四部分组成：（）

填空题扩散系统主要有以下四部分组成：（）

扩散分布的主要测量方法有：（）。

填空题扩散分布的主要测量方法有：（）。