刻蚀过程中的侧壁垂直度主要影响（）。

刻蚀机的精度主要取决于（）。A.刻蚀方法B.刻蚀气体C.设备结构D.控制系统

单项选择题刻蚀机的精度主要取决于（）。

湿法刻蚀通常使用的刻蚀剂是（）。A.强酸B.强碱C.盐溶液D.有机溶液

单项选择题湿法刻蚀通常使用的刻蚀剂是（）。

干法刻蚀中常用的刻蚀气体有（）。A.氧气B.氮气C.氯气D.氢气

单项选择题干法刻蚀中常用的刻蚀气体有（）。