利用高温驱动杂质渗透进半导体内，此工序采用的设备是（）

电子束蒸发中有一个特殊的部件是（）A.电阻丝B.电子束C.电子枪D.石墨

单项选择题电子束蒸发中有一个特殊的部件是（）

通常钽、钴、镍等难溶金属应用于（）A.金属连线B.填充塞C.焊接层D.阻挡层

单项选择题通常钽、钴、镍等难溶金属应用于（）

解决金属铝与衬底之间肖特基接触的方法有（）。A.阻挡金属B.铝铜合金C.铝硅合金D.重掺杂

单项选择题解决金属铝与衬底之间肖特基接触的方法有（）。