问答题

简答题 简述Defect的来源?

【参考答案】

① 素材本身:包括wafer,气体,纯水,化学药品。
② 外在环境:包含洁净室,传送系统与......

(↓↓↓ 点击下方‘点击查看答案’看完整答案 ↓↓↓)