PVD是指化学气相沉积。

Cryo pump（冷冻泵浦）必须定期通入N2做再生之用。

判断题Cryo pump（冷冻泵浦）必须定期通入N₂做再生之用。

机台保养时发现膜层太厚，直接以尖锐物刮除即可。

判断题机台保养时发现膜层太厚，直接以尖锐物刮除即可。

真空冷却系统需以纯水作爲循环媒介。

判断题真空冷却系统需以纯水作爲循环媒介。