问答题
实现超精密加工的关键是超微量去除技术。超微量加工时，工具和工件表面微观的弹性变形和塑性变形是随机的，精度难以控制；工艺系......
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简述什么是电子束的化学效应
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简述抛光加工的机理和特点
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