超精密加工机床中的微量进给装置普遍采用的形式有（）式。

超精密加工机床床身和导轨的材料，可采用哪些材料？

问答题超精密加工机床床身和导轨的材料，可采用哪些材料？

超精密加工机床的主轴部件通常采用哪些类型的轴承？这些轴承各有哪些特点？

问答题超精密加工机床的主轴部件通常采用哪些类型的轴承？这些轴承各有哪些特点？

天然单晶金刚石刀具用于精密切削，其破损和磨损不能继续使用的标志是什么？

问答题天然单晶金刚石刀具用于精密切削，其破损和磨损不能继续使用的标志是什么？