刻蚀机在集成电路制造中的作用是（）。

刻蚀机的故障诊断方法包括（）。A.传感器监测B.数据分析C.人工检查D.以上都是

单项选择题刻蚀机的故障诊断方法包括（）。

减少刻蚀过程中的损伤可以采用（）。A.低温刻蚀B.分步刻蚀C.优化刻蚀气体D.以上都是

单项选择题减少刻蚀过程中的损伤可以采用（）。

刻蚀过程中的横向刻蚀主要影响（）。A.图形精度B.刻蚀速率C.刻蚀选择性D.刻蚀均匀性

单项选择题刻蚀过程中的横向刻蚀主要影响（）。