表征溅射特性的参量主要有溅射率、溅射阈、溅射粒子的速度和能量等。

在气体成分和电极材料一定条件下，起辉电压V只与气体的压强P和电极距离的乘积有关。

判断题在气体成分和电极材料一定条件下，起辉电压V只与气体的压强P和电极距离的乘积有关。

薄膜形成与生长的三种模式：层状生长，岛状生长，层状-岛状生长。

判断题薄膜形成与生长的三种模式：层状生长，岛状生长，层状-岛状生长。

薄膜的形成过程一般分为：凝结过程、核形成与生长过程、岛形成与结合生长过程。

判断题薄膜的形成过程一般分为：凝结过程、核形成与生长过程、岛形成与结合生长过程。