问答题

简答题 简述正性胶和负性胶的作用原理。

【参考答案】

光致抗蚀剂根据光照后溶解度变化的不同分为正胶和负胶。
负性光刻胶是在光照下,涂层的溶解度下降,在溶解过程中(也......

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