多项选择题
A.不受固溶度限制B.精确的剂量控制C.掺杂深度小D.均匀性好
碱腐蚀法与酸腐蚀法对比，其优点是（）A.外观平整B.成本较低C.光亮度高D.对环境的污染小
多项选择题碱腐蚀法与酸腐蚀法对比，其优点是（）
A.外观平整B.成本较低C.光亮度高D.对环境的污染小
硅片表面污染的杂质分类有（）A.分子型杂质B.质子型杂质C.离子型杂质D.原子型杂质
多项选择题硅片表面污染的杂质分类有（）
A.分子型杂质B.质子型杂质C.离子型杂质D.原子型杂质
硅材料的选料主要包括（）A.形状、尺寸、厚度B.导电类型C.晶向、位错、寿命D.电阻率
多项选择题硅材料的选料主要包括（）
A.形状、尺寸、厚度B.导电类型C.晶向、位错、寿命D.电阻率
