问答题
（1）溅射率和入射离子的种类、能童、角度以及靶材的种类、结构等有关。溅射率依赖于人射离子的质量，质量越大，溅射率越高。......
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解释PECVD沉积过程的两种模型。
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紫外线光致分解沉积系统的优点是什么？
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限制激光化学气相沉积沉积率的参数主要有哪些？
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