问答题
①氧化方式（干氧、湿氧或水汽氧化、等离子增强氧化）气氛：掺氯气氛增加氧化速率。②气压：氧化速率与氧化剂分压成......
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描述热氧化的基本机理和两个阶段。
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二氧化硅膜的获得方法有哪些？
问答题二氧化硅膜的获得方法有哪些？
简述硅器件中二氧化硅膜的作用？
问答题简述硅器件中二氧化硅膜的作用？
