名词解释
当金属与半导体的接触电阻小到可忽略不计时，称为欧姆接触。
简述电子束曝光的特点
问答题简述电子束曝光的特点
微电子器件对接触和互连有什么要求？获得良好欧姆接触的方法有哪几种？
问答题微电子器件对接触和互连有什么要求？获得良好欧姆接触的方法有哪几种？
外延
名词解释外延
