减薄作业时，可以用大吸盘减薄小晶圆。

操作员可以擅自更改非操作参数。

判断题操作员可以擅自更改非操作参数。

不同胶膜的晶圆禁止同时减薄。

判断题不同胶膜的晶圆禁止同时减薄。

不同型号，不同批次的晶圆可以同时减薄。

判断题不同型号，不同批次的晶圆可以同时减薄。