问答题
工艺腔，硅片传输系统，气体分配系统，尾气系统，温腔系统
压力对氧化物生长的影响是什么？
问答题压力对氧化物生长的影响是什么？
解释晶体晶向对氧化物生长的影响。
问答题解释晶体晶向对氧化物生长的影响。
掺杂对氧化物生长的影响是什么？
问答题掺杂对氧化物生长的影响是什么？
