单项选择题
A.SiH4B.O2C.N2OD.Ar
CMP清洗部分的顺序是（）。A.兆声清洗（Meg）-SRD（甩干）-Brush（刷洗）B.兆声清洗（Meg）-...
单项选择题CMP清洗部分的顺序是（）。
A.兆声清洗（Meg）-SRD（甩干）-Brush（刷洗）B.兆声清洗（Meg）-Brush（刷洗）-SRD（甩干）C.Brush（刷洗）-兆声清洗（Meg）-SRD（甩干）D.Brush（刷洗）-SRD（甩干）-兆声清洗（Meg）
高电流注入机的扫描方式为（）。A.静电扫描B.机械扫描C.静电扫描与机械扫描结合
单项选择题高电流注入机的扫描方式为（）。
A.静电扫描B.机械扫描C.静电扫描与机械扫描结合
下列选项属于BF3的特性的是（）A.黄色标识，有白烟B.红色标识，臭大蒜味道C.黑色标识，无色大蒜味
单项选择题下列选项属于BF3的特性的是（）
A.黄色标识，有白烟B.红色标识，臭大蒜味道C.黑色标识，无色大蒜味
