问答题
掩膜与晶圆不接触的光刻方式，分为接近式和投影式两种
接触曝光方式的关键技术有哪些？它的主要优缺点是什么？
问答题接触曝光方式的关键技术有哪些？它的主要优缺点是什么？
光刻的曝光方式有几种？各有何特点？
问答题光刻的曝光方式有几种？各有何特点？
负性和正性光刻胶有什么区别和特点？
问答题负性和正性光刻胶有什么区别和特点？
