激光干涉仪是以激光稳定的波长作基准，利用光波干涉计数原理进行精密测量。

提高机械设备的有效度可通过降低它的故障率或提高它的修复率来实现。

判断题提高机械设备的有效度可通过降低它的故障率或提高它的修复率来实现。

闭环进给伺服系统的检测元件是角位移检测器。

判断题闭环进给伺服系统的检测元件是角位移检测器。

三坐标测量工件时，被测件的3个坐标不需要与测量机的X、Y、Z3个方向的坐标重合。

判断题三坐标测量工件时，被测件的3个坐标不需要与测量机的X、Y、Z3个方向的坐标重合。