填空题
罗茨；活塞
HMDA装置的真空泵的位号是（）、（）、（）。
填空题HMDA装置的真空泵的位号是（）、（）、（）。
HMDA装置的真空泵的正常启动顺序是（）。
填空题HMDA装置的真空泵的正常启动顺序是（）。
HMDA装置的真空泵的正常停止的顺序是（）。
填空题HMDA装置的真空泵的正常停止的顺序是（）。
