多项选择题

化学气相沉积直接制备多晶硅薄膜的方法有()。

A.热丝化学气相沉积制备多晶硅
B.低压化学气相沉积制备多晶硅
C.非晶硅晶化制备多晶硅薄膜
D.等离子增强化学气相沉积