判断题
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插入提篮时晶圆图形面朝上,平行插入。
判断题插入提篮时晶圆图形面朝上,平行插入。
晶圆周边预留的胶膜宽度≤1㎜、无残缺胶膜。
判断题晶圆周边预留的胶膜宽度≤1㎜、无残缺胶膜。
贴膜机3小时未使用时,再次使用前需将裸露在空气中的胶膜截掉,以防外来物附着在胶膜上。
判断题贴膜机3小时未使用时,再次使用前需将裸露在空气中的胶膜截掉,以防外来物附着在胶膜上。