闭环伺服式传感器较之一般开环式传感器具有高的（）和（）。

半导体应变片传感器的工作原理是基于（）效应，它的灵敏系数比金属应变片的灵敏系数（）；压阻效应是指（）半导体材料...

填空题半导体应变片传感器的工作原理是基于（）效应，它的灵敏系数比金属应变片的灵敏系数（）；压阻效应是指（）半导体材料在沿着某一轴向受到（）作用时，其（）发生变化的现象。涡电流式传感器的工作原理是利用金属导体在交变磁场中的（）效应。

变间隙式电容式传感器常作成差动的，其主要目的之一是（），目的之二是（），目的之三是（）。

填空题变间隙式电容式传感器常作成差动的，其主要目的之一是（），目的之二是（），目的之三是（）。

某位移传感器测量的最小位移为0.01mm，最大位移为1mm，其动态线性范围（或测量范围）是（）dB。

填空题某位移传感器测量的最小位移为0.01mm，最大位移为1mm，其动态线性范围（或测量范围）是（）dB。