问答题
准确控制薄膜的组分和掺杂水平、可在复杂的衬底上沉积薄膜、不需要昂贵的真空设备、高温沉积可改善结晶完整性、可在大尺寸基片上......
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简述气相外延生长（VPE，vapor phase epitoxy）的原理。
问答题简述气相外延生长（VPE，vapor phase epitoxy）的原理。
外延生长有哪些显著优点？
问答题外延生长有哪些显著优点？
什么是液相外延、气相外延和分子束外延？
问答题什么是液相外延、气相外延和分子束外延？
