填空题
单晶晶核
对于多晶硅、籽晶、母合金上的油污光用丙酮或苯去掉,石英坩埚表面的沾污用洗涤剂或肥皂清洗,然后进行清洁处理,多晶...
填空题对于多晶硅、籽晶、母合金上的油污光用丙酮或苯去掉,石英坩埚表面的沾污用洗涤剂或肥皂清洗,然后进行清洁处理,多晶硅、母合金、籽晶一般用()腐蚀。
采用母合金作为掺杂剂,主要是为了(),从而达到()的目的。
填空题采用母合金作为掺杂剂,主要是为了(),从而达到()的目的。
常用的母合金有硅磷母合金和硅硼母合金。杂质浓度一般大于()个原子/cm3(电阻率为10-2~10-3欧姆•厘米...
填空题常用的母合金有硅磷母合金和硅硼母合金。杂质浓度一般大于()个原子/cm3(电阻率为10-2~10-3欧姆•厘米)。