干法刻蚀的优点有（）

以下（）属于刻蚀终点检测法。A.OESB.IEPC.RIED.HDP

多项选择题以下（）属于刻蚀终点检测法。

以下（）属于干法刻蚀工艺。A.RIEB.MERIEC.ICPD.HDP

多项选择题以下（）属于干法刻蚀工艺。

属于湿法刻蚀的优点的是（）A.各向同性B.各向异性C.提高刻蚀的选择比D.不产生衬底损伤

多项选择题属于湿法刻蚀的优点的是（）