电主轴是精密部件，在高速运转情况下，任何（）进入主轴轴承，都可能引起振动，甚至使主轴轴承咬死。

激光干涉仪可对机床、三测机及各种定位装置进行高精度的（）精度校正。

填空题激光干涉仪可对机床、三测机及各种定位装置进行高精度的（）精度校正。

三坐标测量仪是通过（）三个轴测量各种零部件及总成的各个点和元素的空间坐标。

填空题三坐标测量仪是通过（）三个轴测量各种零部件及总成的各个点和元素的空间坐标。

比较仪可分为扭簧比较仪与（）。

填空题比较仪可分为扭簧比较仪与（）。