刻蚀机在平板显示制造中的作用是（）。

为了提高刻蚀的各向异性，通常采用（）。A.增加刻蚀气体流量B.降低刻蚀温度C.采用离子束刻蚀D.以上都不是

单项选择题为了提高刻蚀的各向异性，通常采用（）。

刻蚀过程中，影响刻蚀轮廓的因素不包括（）。A.刻蚀气体压力B.样品的初始形状C.刻蚀时间D.操作人员的心情

单项选择题刻蚀过程中，影响刻蚀轮廓的因素不包括（）。

刻蚀机的腔体材料通常需要具备（）。A.耐腐蚀性B.高硬度C.良好的导热性D.以上都是

单项选择题刻蚀机的腔体材料通常需要具备（）。