问答题
非对称性常用偏斜度γ(skewness)表示:γ为负值表明杂质分布在表面一侧的浓度增加,即x<R......
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什么是离子注入的横向效应?同等能量注入时,As和B哪种横向效应更大?为什么?
问答题什么是离子注入的横向效应?同等能量注入时,As和B哪种横向效应更大?为什么?
采用无定形掩膜的情况下进行注入,若掩蔽膜/衬底界面的杂质浓度减少至峰值浓度的1/10000,掩蔽膜的厚度应为多...
问答题采用无定形掩膜的情况下进行注入,若掩蔽膜/衬底界面的杂质浓度减少至峰值浓度的1/10000,掩蔽膜的厚度应为多少?用注入杂质分布的射程和标准偏差写出表达式。
离子在靶内运动时,损失能量可分核阻滞和电子阻滞,解释什么是核阻滞、电子阻滞?两种阻滞本领与注入离子能量具有何关...
问答题离子在靶内运动时,损失能量可分核阻滞和电子阻滞,解释什么是核阻滞、电子阻滞?两种阻滞本领与注入离子能量具有何关系?